工作原理：

等離子廢氣處理技術處理工業廢氣技術不是水洗技術，處理污染物的原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除，并非污染物的轉移。

等離子體化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：

(1) 電場+電子→高能電子

(2) 高能電子+分子(或原子) →(受激原子、受激基團、游離基團）活性基團

(3) 活性基團+分子(原子) →生成物+熱

(4)活性基團+活性基團→生成物+熱

從以上過程可以看出，電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。等離子廢氣處理技術處理工業廢氣技術不是水洗技術，是通過高能量等離子體對污染物的直接擊穿和直接轟擊，使分子鏈斷裂，并非污染物的轉移。

低溫等離子體技術在環境工程中的應用：
低溫等離子體技術在廢氣處理中主要應用于石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性有機廢氣。應用范圍廣闊，基本不受氣溫和污染物成分的影響，對惡臭異味的臭氣濃度有良好的分解作用，惡臭異味的去除率達80-98%，處理后的氣體臭氣濃度達到國家標準。

技術特點：
低溫等離子廢氣處理技術應用于廢氣治理，具有處理效果好，運行費用低廉、無二次污染、運行穩定、操作管理簡便、即開即用等優點。重要特點：以非甲烷總烴為例，用色譜法檢測，非甲烷總烴去除率也許只有45%,但惡臭異味的去除率達90%。這是因為非甲院總經經過處理后，部分分子變成小分子，用色譜法檢測時，依然表現為非甲烷總烴。惡臭異味的去除率高，表明實際已經分解了90%以上的污染物質，因為分解后的物質也有部分有異味。